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超声波湿式清洗技术和干式清洗技术的对比

作者: admin 时间:2020-08-11 来源:未知
摘要:新兴的超声波干式清洗技术,并将其与较为成熟的超声波湿式清洗技术在清洗原理,应用领域和优缺点方面进行了综合比较,并对干式清洗技术的发展前景作出展望。...

 超声波湿式清洗技术的清洗原理和现应用领域。清洗原理 超声波指频率高于20kHz的声波,20~50kHz的超声 波称为低频超声波,50~200kHz的超声波称为高频超声 波,700~1MkHz的超声波称为兆频超声波。湿式清洗技术 通常利用空化效应最为显着的低频超声波。空化效应指声波在液体中传播时,液体会处于负压状态,当负压大于液体强度时,溶解在液体中的空气会以空化核形式析出,空化核会迅速生长成几微米的直径的空化气泡并在缝隙中闭合爆裂,产生声压梯度和声流来反复冲击污物与被清洗表面的结合部位,使污物冲入清洗液中,达到清洗目的。高频超声波也被广泛应用于超声波湿式清洗技术中,但主要利用其声波流现象[2]在被清洗表面反复摩擦使得污 物脱离表面融入清洗液中,达到清洗效果。现应用领域 超声波湿式清洗技术从上世纪五十年代开始发展,研究成果不断。

 对现行发展较快的几大领域做简要介绍。 (1)机械工业:航空发动机低涡轴零件超声波纯水清洗的技术特点,并制定了提高60%以上效率的 超声波清洗新工艺一种超声波全自动清洗机,并解决了零部件篮提出水时有巨大噪声的问题。复杂结构零件超声波清洗工艺技术进行了研究,在同一个超声波清洗槽中同时实现了2种频率清洗, 有效提高了清洗效率。 (2)医疗器械:选取从手术室回收的160套腔镜 手术器械,对照试验表明超声波清洗机能够高效清洗腔镜手术器械;设计三组实验,研究不同清洗控制条件下空腔车针的清洗效果,发现超声波清洗应用于空腔车针 清洗有助于提高车针清洗质量。 (3)电力工业 :电子行业中超高频超声波清洗机,主要利用高频超声波推动液体粒子高速冲撞污物进行超精密清洗;锂电池转接头利用低频超声波就可保证清洗质量并防止工件损坏。超声波干式清洗技术的清洗原理和现应用领域.

 清洗原理:超声波干式清洗技术是一种高速气流与超声波共同作用,对超精密待清洗件(如半导体器件,玻璃或硅基板等)亚微米级别的污染物进行清洗的新型干式清洗技术。一般包括三大系统:(1)空气循环系统;(2)清洗件传送系 统;(3)超声清洗头。空气循环系统利用负压作用将新空气 不断吸入并净化后输入清洗头压力腔,同时利用离心力将内部空气不断送出;清洗件传送系统将待清洗件传送给超声波清洗头。 核心部件超声波清洗头主要有两类:一类空气流经特殊设计的变截面流道时,经激流震荡生成超声波,但这种超声波的强度弱,传递能量少。另一类内置超声波增幅器,超声波空气在大小约0.3mm的出口处体积迅速膨胀,达到 一种“微型爆炸”的效果。高速气流和超声波的共同作用使污物微粒脱离悬浮,超声波的反射作用将微粒带动起来,由清洗头的真空吸附腔吸走并分离,这种清洗方式杜 绝清洗剂对环境造成污染。现应用领域 超声波干式清洗作为一个新兴清洗方式,国内研究存在不足,检索较难;国际上日韩、欧美掌握着相关技术,且由于技术保密,公开资料很少,增加了检索难度。

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